經濟觀察報 記者 蔡越坤 近期，半導作為半導體工業“皇冠上的體皇透視明珠”，國產光刻機產業鏈上的冠上光刻一季度增長23.5%全球領跑 海信視像李煒：增長源于三大因素概念股吸引了二級市場投資者前所未有的關注。

正因如此，珠何A股“光刻機”概念股的瘋狂股價此起彼伏，相關上市公司頻繁受到資本的機概關注。9月21日，念股軟包裝復合膠粘劑龍頭高盟新材（300200.SZ）大幅上漲16.19%，半導盤中一度20CM漲停。體皇透視

高盟新材9月14日在投資者互動平臺表示，冠上光刻公司業務沒有涉及光刻機，珠何但公司投資參股了光刻膠項目公司，瘋狂其中，機概公司參股北京科華微電子材料有限公司比例為3.67%，念股參股北京鼎材科技有限公司比例為1.39%，半導北京科華是國內半導體光刻膠領域的頭部企業，北京鼎材是OLED發光材料和面板顯示光刻膠領域的優秀企業。

根據記者不完全統計，投資者在互動易平臺詢問相關上市公司光刻機相關業務的動態高達數百條，光刻機市場的動態牽動著資本市場的神經。

對于光刻機市場，中航證券指出，一季度增長23.5%全球領跑 海信視像李煒：增長源于三大因素半導體行業十年翻倍，晶圓廠積極擴產，疊加芯片性能升級，光刻強度上升，預計5nm邏輯芯片的光刻支出占比達35%，光刻工藝的重要性愈發凸顯，市場規?？焖僭鲩L，預計2024年有望達到230億美元，ASML（荷蘭光刻機巨頭）在高端市場一枝獨秀。2022年中國大陸光刻機進口約40億美元，主要從日本、荷蘭進口，出口管制下光刻機存在斷供隱憂，自主可控勢在必行。

光刻機概念被熱捧

受華為推出爆款手機新品等消息的影響，光刻機概念股備受投資者關注。

Wind光刻機指數成分股包括21家上市公司，截至9月22日，這21家公司中，市值前十位包括：張江高科（600895.SH）、雅克科技（002409.SZ）、彤程新材（603650.SH）、南大光電（300346.SZ）、容大感光（300576.SZ）、福晶科技（002222.SZ）、上海新陽（300236.SZ）、茂萊光學（688502.SH）、晶瑞電材（300655.SZ）、華懋科技（603306.SH）。

從2023年中報業績角度來看，截至9月22日，Wind光刻機指數成分股上市公司，主營業務收入均值為9.06億元；主營業務利潤均值為1.156億元。

此外，數據顯示，自8月29日以來，光刻機概念指數開始強勢上漲，此后10個交易日漲幅近30%，其中僅僅9月5日光刻機指數就暴拉超過9%。自9月18日以來，光刻機概念指數逐漸回調。

2023年初至9月22日，容大感光、藍英裝備的股價漲幅超100%；騰景科技（688195.SH）、廣信材料（300537.SZ）、揚帆新材（300637.SZ）、福晶科技（002222.SZ）、張江高科（600895.SH）漲幅超過50%。

光刻機概念股被爆炒，也引起了深交所發函關注。

公開交易信息顯示，自9月5日至9月13日，藍英裝備股價在短短7個交易日內股價累計上漲超100%。9月12日，藍英裝備收到深交所關注函。

其間，藍英裝備在9月7日和9月11日曾兩度發布股價異常波動公告，稱未發現近期公共傳媒有報道可能或已經對公司股票交易價格產生較大影響的未公開重大信息；公司經營情況及內外部經營環境未發生重大變化；公司、控股股東和實際控制人不存在關于公司的應披露而未披露的重大事項，或處于籌劃階段的重大事項。

9月20日，“光刻機概念”藍英裝備（300293.SZ）回復深交所關注函，表示公司并不直接參與其相關設備的生產制造。在相關客戶設備生產制造的整個價值鏈中，對比相關客戶的設備產品的價值，從金額上看公司相關設備占比較小。

值得關注的是，藍英裝備在回復公告中，對“光刻機”一詞只字未提。其只是在公告中稱，公司根據相關用戶對其設備相關零部件的清潔度和精密度需求，提供相應的清洗設備和解決方案。

寡頭壟斷

據悉，光刻機是光刻工藝的核心設備，主要由光學系統、機械系統和控制系統構成。而光刻是芯片制造的核心環節，因此，國內光刻機的發展動態也倍受投資者關注。

根據光大證券研報數據，全球光刻機市場主要由荷蘭的ASML、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家把持。目前市場上的光刻機主要分為g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代迭代更新。

三家企業光刻機出貨量由2015年的281臺增長至2022年的551臺，CAGR達10.10%；銷售收入由2019年的945億元增長至2022年的1318億元，CAGR（年均復合增長率）達11.73%。其中ASML占據絕對的龍頭地位，壟斷高端EUV市場。

其中，Canon在低端光刻機市場占據優勢地位，主要集中在i-line光刻機；Nikon在光刻機產品類型覆蓋較廣，在除EUV之外的類型均有涉及，其中以ArF和i-line光刻機領域較為突出，但在出貨量上遠少于ASML和Canon。

具體來看，中航證券研究所數據顯示，從早年美國GCA+PerkinElmer把持，到如今僅剩荷蘭ASML+日本Nikon/Canon，美國光刻機企業退出歷史舞臺。后入局的上海微電子主要在封裝環節，前道光刻機小批量出貨。當前，光刻機市場份額集中度很高，ASML占據全球八成以上的市場。

浸沒式的成功和EUV的飛躍，使ASML幾乎壟斷高端市場。全球僅ASML能生產高端EUV，浸沒式DUV也僅ASML與Nikon出貨，2022年ASML出貨占95%，在ArF和KrF光刻機的份額也高達88%/72%。低端i線光刻機上，Canon出貨占比較高。

相比較之下，國產光刻機的發展與國際先進水平差距仍較大。

光大證券研報指出，上海微電子是中國大陸光刻機進展最快的廠商，其自主研發的600系列光刻機可批量生產90nm工藝的芯片。但是在技術層面，上海微電子的IC前道光刻機與國際先進水平差距仍較大。上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中性能最好的最高可實現90nm制程節點，ASML的EUV3400B制程節點可達到5nm。這也使得在IC前道光刻機市場，國產化率較低，國內的IC前道光刻機市場主要被ASML、Nikon和Canon瓜分。

國產亟待突破

作為芯片制造領域的重要設備之一，光刻機的動態進展格外受到關注。

據悉，國內光刻機產業鏈主要包括上游設備及配套材料、中游光刻機系統集成和生產及下游光刻機應用三大環節。光大證券研報梳理指出，其中，光刻機元器件上游國內代表企業包括福晶科技、國望光學、賽微電子、科益宏源、國科精密、炬光科技、奧普光電等；中游光刻機系統制造代表企業為上海微電子；下游光刻機應用代表企業為中芯國際。

近期，A股多家上市公司在互動易等平臺上對外介紹自身在光刻機或半導體領域的布局。

9月18日，炬光科技（688167.SH）回答投資者關于光刻機供應產品相關問題時表示，公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件——光場勻化器，供應給世界頂級光學企業A公司，最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備；近年來光場勻化器產品也應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中。

9月15日，大族激光（002008.SZ）在互動易上回答投資者提問時稱，公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化，公司將根據市場需求及業務發展情況持續制定研發計劃，并加大研發核心部件國產化。

9月14日，芯碁微裝（688630.SH）也表示，圍繞自身技術優勢，結合行業發展趨勢，持續進行研發創新和產品迭代，滿足國內外客戶對直寫光刻設備的需求。公司130-90nm晶圓制版光刻設備研制及產業化項目已于2022年上半年驗收，能夠實現最小線寬350nm、CD均勻度10%，產能120min/片，設備性能優異。

中航證券判斷，光刻機作為高壁壘、重資本、高風險的行業，其發展必將借助“舉國體制”之力，重點關注上海微電子和幾大院所的研究進展，以及其控股/參股的資產，或有光刻機成果注入的預期。

光刻機產業化漸近，零部件投資先行，中航證券測算國內零部件市場空間約150億元，市場空間大、技術關鍵性強。